無氧烘箱是(shi)如何實(shi)現(xian)無氧環(huan)境的？

隨著各類(lei)產品工(gong)藝的日益(yi)精進和要(yao)求的提高，催發了無氧烘箱在(zai)工(gong)業用途上的普及。尤其(qi)是半導體行業，在(zai)此類(lei)烘箱的需求上日益(yi)旺盛。

那么我們所說的無氧烘(hong)箱是如何實(shi)現(xian)無氧環境(jing)的呢？下(xia)面海向小編(bian)給(gei)大家介紹一下(xia)：

無氧烘(hong)箱內部(bu)工作室的無氧環境主(zhu)要是通(tong)過(guo)氮氣置換來(lai)實現的。

往設備腔體內(nei)經(jing)專用進氣(qi)口和導管充入高純氮氣，氮氣的一般(ban)純度在99.99%以上(可以根據不同產品對氧含(han)量(liang)的不同要求來選擇氮氣純(chun)度)。

海向無(wu)氧烘箱(xiang)的(de)氮氣(qi)(qi)排氧控制(zhi)系(xi)統采用雙路氮氣(qi)(qi)導入回路，各(ge)向箱內提供0~100L/min+0~480L/min的氮(dan)氣(qi)，每路(lu)配(pei)套進口電磁閥，雙流量自(zi)動切換，到(dao)達設定濃度(du)自動關閉保(bao)持低氧濃度(du)環境，自動切換至低流量氮氣(qi)，大大節省氮氣(qi)消耗量，也可根(gen)據工藝(yi)制程要求，自行設定，滿足多種工藝(yi)需求。

氮氣壓(ya)力檢測(ce)-100kpa~100kpa可設(she)定，當腔內(nei)內(nei)部氮氣正壓力超出預警壓力值自(zi)動(dong)報警切(qie)斷進(jin)氣閥(fa)門。

海向建議大型氮氣烘箱(xiang)或者氧含量要求較(jiao)低的，最好自己工廠具(ju)備制氮機，因(yin)為保持較(jiao)低的氧含量就需要不間(jian)斷的充入氮氣，對氮氣的流量要求較(jiao)大，而瓶裝氮氣的成本相對較(jiao)高，故(gu)有制氮機是較(jiao)佳(jia)選擇。

氮氣進入后，經過(guo)高(gao)溫加熱再通過(guo)過(guo)濾器，反復循環(huan)，達到要求(qiu)的(de)數值(zhi)。目前，氧含量檢測主要基(ji)于氧氣(qi)傳感器(qi)。接(jie)通(tong)電源(yuan)，達到一定值，氧氣傳感器，開始檢測。

海向建(jian)議：不要(yao)長(chang)時間(jian)在潔凈(jing)室外使用設備。長期(qi)在有塵環境中使用。空氣中的大量顆粒灰(hui)塵(chen)會(hui)大大降低空氣濾清器的壽命。